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H型滑閥真空泵(單缸)
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直聯旋片真空泵
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ZJH型羅茨真空泵(專利產品)
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W、WY型往復式真空泵

JZJHS型羅茨水環真空機組
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3L-WD型直聯三葉羅茨風機
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往復真空泵工作原理

往復式真空泵(簡稱往復泵)又名活塞式真空泵,屬于低真空獲得設備之一。它與旋片式真空泵相比較,它能被制成大抽速的泵;與水環式真空泵相比,效率稍高。這類泵的主要缺點是結構復雜,體積較大,運轉時振動較大等。其在很多場合可由水環真空泵所取代。

往復式真空泵的工作原理:

往復泵的結構和工作原理如圖所示,主要部件有氣缸1及在其中做往復直線運動的活塞2,活塞的驅動是用曲柄連桿機構3(包括十字頭)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件,以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。

運轉時,在電動機的驅動下,通過曲柄連桿機構的作用,使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內氣體的密度減小,而形成抽氣過程,此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到最右位置時,氣缸左腔內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮,當氣缸內氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時,排氣閥4被打開,將氣體排到大氣中,完成一個工作循環。當活塞再左向右運動時,又重復前一循環,如此反復下去,被抽容器內最終達到某一穩定的平衡壓力。

為提高抽氣效率,一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥,然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯起來。

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