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滑閥式真空泵工作原理

滑閥式油封機械泵（簡稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變容式氣體傳輸泵，但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。滑閥真空泵目前分為單級H型和雙極2H型兩種型號，比較老的還有MH，1401系列，目前基本淘汰。

滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關氣鎮），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關氣鎮）。目前雙極2H滑閥真空泵最大抽速為300L/S。

由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質量平衡，在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，因此小廠很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。