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目前國內單晶爐、多晶爐配用真空泵以滑閥真空泵2H-120、滑閥真空泵2H-150、滑閥真空泵2H-70居多。其中清理單晶爐仍然使用水環真空泵2SK-6A型號。多晶硅爐配套真空泵可根據用戶情況定制各類真空機組(羅茨滑閥真空機組型號：JZJH2H-150-70)。
單晶爐滑閥真空泵

2H-70 主要性能參數：
極限真空：6X10-2Pa
抽氣速率：70L/S 　　
配用功率：7.5KW 　　
進氣口徑80mm 　　
排氣口徑80mm
 　　
水環真空泵2SK-6A主要性能參數： 　　
極限真空：3300Pa 　　
抽氣速率：6m3/min 　　
進排氣口徑：50mm
功率：11KW